通式
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矽烷的熱穩定性隨著分子中矽原子的增多而迅速降低。SiH4和Si2H6在400℃時開始分解,Si4H10在室溫時已明顯分解,Si6H14的分解速率更快。
矽烷在空氣中可燃燒,生成SiO2和H2O;與鹵素單質作用生成鹵代矽烷,在催化劑存在下能與鹵化氫作用生成鹵代物。例如:
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矽烷能被水分解,在微量酸或堿存在下反應速率加快:
SiH4+2H2O─→SiO2+4H2
矽烷與 醇類反應,生成矽酸酯;在一些有機溶劑中或液氨中還能與堿金屬、堿金屬的氫化物和烷基化物進行置換或 復分解反應。此外,矽烷在催化劑存在下,還能與氯仿發生氫和氯的對換作用。矽烷最早是用硫酸或磷酸水解矽化鎂Mg2Si來制備,產品是一種矽烷混合物。後來逐漸利用氫化鋁鋰與鹵化矽在乙醚中反應來制備:
SiCl4+LiAlH4
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Si3Cl8+2LiAlH4
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矽烷中的甲矽烷較重要,是熱分解法制取超純矽,生產半導體矽的原料。