一種以發射β粒子（電子或正電子）為主要特徵的放射源，簡稱β源。其中發射正電子的β源又稱做正電子源。它們是利用放射 β-和β+粒子的核素製成的。用於製備β放射源的核素主要有氚、碳14、鈉22、鈷58、鎳63、氪85、鍶90、鉕147和鉈204等。
如果把β源的定義擴大為電子源，則還應包括內轉換電子源和俄歇電子源。內轉換和俄歇過程程發射的電子是殼層電子，它們具有非連續的能譜，其能量和電子殼層的能級有關。例如，鐵55就是一種應用較多的俄歇電子源，鉍207就是一種內轉換電子源。
放射性核素發射的β粒子能量是從零到最大值連續分佈的。核素表所標的β粒子能量是其最大能量值。當用β源作電離源時，其平均能量是主要的。
β放射源的制備方法類似 α源，常用的有玻璃、陶瓷、搪瓷法，電鍍法和粉末冶金－滾軋法等。采用何種制源方法，需根據核素的性質、射線的能量及使用要求而定。鐵55、鎳63發射的β粒子和俄歇電子能量低，它們的電化學性質適於用電鍍法制源。但多數β源用玻璃、陶瓷、搪瓷法制備。一般把放射性物質加到面釉中，但高能量的鍶90－釔90也可直接加到陶瓷體內，例如做成穩定性好、含鍶量高的SrTiO3。對於強度較低的β源還可用粉末冶金－滾軋法制備。氚和氪85是氣體放射性核素。利用氚易吸附在鈦、鈧、鋯等金屬中形成金屬氚化物的特點，可以做成氚源。這種氚源的一個重要用途是作為加速器的靶，所以又稱做氚靶、如氚鈦靶、氚鈧靶、氚鋯靶。氪85是惰性氣體，通常將它直接封在金屬殼中做成氣體源，或者固定在籠狀化合物中。
中能和高能β放射源多用於材料厚度測量（見表）和醫療敷貼器。低能電子源氚、鐵55、鎳63的主要用途是作為電子捕獲鑒定器的電離源。鐵55、鎳63源可以在400℃下有效地使用，而氚源最好是在常溫下使用，超過200℃時氚將明顯地釋放出來。低能電子源的另一重要用途是作為某些真空管、數碼指示管、防止過載放電器等的誘發放電電離源。所用的源的強度一般是微居裡到毫居裡級。裝有這種放射源的管子，使用壽命長，性能好。
幾種β放射性核素測厚儀性能