吸入水蒸汽或水霧，以滿足呼吸道對水分的需要；吸入水霧時，還可進行呼吸道局部給藥。屬吸入治療範疇。
吸入氣濕化不足的影響 正常人吸入氣在經過上呼吸道（主要是鼻腔的彎曲通道）時被加溫、增濕，達到氣管時，溫度已近於體溫，相對濕度近於飽和。環境乾燥、發熱、呼吸道疾病均可影響呼吸道的濕化，特別是進行氣管插管和氣管切開的病人，外界空氣直接進入氣管，上呼吸道濕化吸入氣的功能完全全喪失，其有害影響包括:損傷氣管粘膜的粘液纖毛系統的正常防禦功能，引起呼吸道炎癥，造成肺不張、動脈血氧下降等。
濕化療法的應用范圍 氧氣治療時，高壓氣瓶內的氧氣十分幹燥，需經過適當濕化，再給病人吸入。
氣管插管或氣管切開病人的上呼吸道濕化功能已不能起作用，若同時應用呼吸器，吸入幹燥氧氣，則吸入氣濕化不足的問題將更突出，氣管分泌物很易幹燥、結痂、形成呼吸道阻塞。因此長期應用呼吸器的患者吸入氣的有效濕化是決定治療成敗的關鍵之一。
呼吸道疾病，如慢性阻塞性肺疾患、呼吸道感染等病人，濕化治療是綜合呼吸治療的重要組成部分。對促進痰液排出，保持呼吸道通暢有一定作用。
濕化裝置和應用方法 根據性能不同，可分為濕化器與霧化器兩大類。
濕化器 有兩類：①鼓泡式濕化器。普通氧氣瓶流量表下的濕化瓶即屬此類，氣體自水面下冒泡而出，濕化能力很有限。②加溫濕化器。水溫通常加熱在45～50℃左右，由於溫度增高，水蒸發量大，從而增加氣體的濕度。長期經氣管插管或氣管切開應用呼吸器的患者，用加溫濕化最合乎生理需要。濕化器內隻能加蒸餾水，不能用任何藥物。
霧化器 霧化液可用蒸餾水或生理鹽水，也可二者各半。①噴射式霧化器：高速氣流通過細孔噴射時，其周圍產生負壓，將貯罐水吸上，水沖入高速氣流被粉碎成霧滴。直徑1～10μm的霧粒能沉積在呼吸道深部。性能良好的霧化器1～10μm霧粒可占90％左右。噴射式霧化器可作為氧氣治療時的濕化工具，也可用於呼吸道局部給藥。②超聲波霧化器。1.3～2.5MHz 的超聲波作用於液體，破壞其表面張力與慣性，可產生大量小而均勻的霧粒。適用於痰液粘稠，不易排出的患者。超聲波霧化器能提供給呼吸道的水分可多達每升300mg，明顯高於正常進入下呼吸道吸入氣的水分。因此不能長時間應用，每次不宜超過30分鐘，以免進入呼吸道水分過多。若霧量太大，可引起患者咳嗽、喘息和呼吸困難等。
為瞭使痰易於排出，濕化治療後要輔以拍背、轉移體位，鼓勵患者咳嗽或幫助病人吸痰，這樣才能達到保持呼吸道暢通的效果。
霧化用藥 霧化吸入是呼吸道局部給藥的一種方法。使局部可達較高的藥物濃度，而全身副作用較少，效果較好。應用最多的是支氣管擴張藥。腎上腺皮質激素和抗生素也可霧化吸入，但要註意，抗生素的刺激作用有時可引起支氣管痙攣，而且易於產生耐藥菌株。化痰藥局部應用的效果不肯定，臨床應用價值不大。霧化吸入藥物的方法最好用口含管，也可用口罩；可病人自己吸入，也可用呼吸器做輔助呼吸。
CPAP氧療器既適用於各種不同的給氧方法，又可進行加溫濕化或霧化吸入，是吸入治療的重要設備。