三氯氫矽

　　又稱矽氯仿。甲矽烷的三氯代物，化學式SiHCl₃。為一種易流動的無色液體；熔點－126.5℃，沸點33℃，密度1.34克／釐米³；能溶於苯、氯仿和二硫化碳。

　　三氯氫矽在水中發生水解作用，生成聚合的HSiO_1.5，其結構像聚矽氧烯烯(H₂SiO)_n。三氯氫矽與乙醇反應生成矽酸的酯類和氯化氫：

SiHCl₃+3C₂H₅OH─→SiH(OC₂H₅)₃+3HCl

在有機過氧化物催化下，能與 α烯烴起 加成反應，例如：

與丙烯腈作用，發生兩種加成反應：

在金屬鈉的作用下，會還原成一種聚合的不飽和氫化矽：

xSiHCl₃+3xNa─→(SiH)_x+3xNaCl

矽氯仿和四氟化錫在封閉管中加熱，可得到矽氟仿：

4SiHCl₃+3SnF₄─→4SiHF₃+3SnCl₄

三氯氫矽可由氯化氫在350℃時與單質 矽反應來制備：

Si+3HCl─→SiHCl₃+H₂

三氯氫矽易被精鎦提純，是生產純矽的中間原料。