化學式Si3N4。白色粉狀晶體;熔點1900℃,密度3.44克/釐米3(20℃);有兩種變體:α型為六方密堆積結構;β型為似晶石結構。氮化矽有雜質或過量矽時呈灰色。

  氮化矽與水幾乎不發生作用;在濃強酸溶液中緩慢水解生成銨鹽和二氧氧化矽;易溶於氫氟酸,與稀酸不起作用。濃強堿溶液能緩慢腐蝕氮化矽,熔融的強堿能很快使氮化矽轉變為矽酸鹽和氨。氮化矽在600℃以上能使過渡金屬(見過渡元素)氧化物、氧化鉛、氧化鋅和二氧化錫等還原,並放出氧化氮和二氧化氮。1285℃ 時氮化矽與二氮化三鈣Ca3N2發生以下反應:

Ca3N2+Si3N4─→3CaSiN2

  氮化矽的制法有以下幾種:在1300~1400℃時將粉狀矽與氮氣反應;在1500℃時將純矽與氨作用;在含少量氫氣的氮氣中灼燒二氧化矽和碳的混合物;將SiCl4的氨解產物Si(NH2)4完全熱分解。氮化矽可用作催化劑載體、耐高溫材料、塗層和磨料等。