化學式為XeF4。為氙的一種氟化物。熔點117.1℃,密度為3.03克/釐米3(25℃),蒸氣壓2.5毫米汞柱。XeF4為無色固體,室溫下易昇華,形成大的透明結晶,為體心單斜晶體;分子構型為平面四方形;難溶於無水氟化氫;是一種強氧化劑和氟化劑。它可由氙與適當過量的的氟在幾個大氣壓和300~400℃高溫下反應制得。