四氟化矽

　　化學式SiF₄。無色有毒氣體；熔點－90.2℃（1.73大氣壓），密度4.69克／升，固體SiF₄在－95.5℃昇華。四氟化矽在濕空氣中因水解而產生煙霧。在冷凍下加壓可凝成無色液體。四氟化矽較穩定，乾燥時不腐蝕玻璃；潮濕時水解成矽酸凝膠和氫氟酸：

SiF₄+4H₂O─→H₄SiO₄+4HF

氫氟酸能腐蝕玻璃，也能與四氟化矽結合成六氟矽酸：

SiF₄+2HF─→H₂SiF₆

四氟化矽也易被堿溶液分解：

　　 　

　　四氟化矽可由單質之間反應制得：

Si+2F₂─→SiF₄

也可由石英與氫氟酸反應，或由螢石粉和石英砂的混合物與濃 硫酸作用來制得：

SiO₂+4HF─→SiF₄+2H₂O

將氟矽酸鹽熱分解可得純四氟化矽：