除去鹽類並部分除去矽酸和二氧化碳等的純水。去離子水中剩餘含鹽量約為1毫克/升。將天然水或一次蒸餾水經離子交換法提純可以得到去離子水。制取去離子水需要氫型強酸性陽離子交換樹脂和氫氧型強鹼性陰離子交換樹脂。這兩種樹脂上的 H+離子和OH-離子分別與水中的陽離子和陰離子進行交換，使水中的金屬離子和酸根離子吸附在樹脂上，以從水中除去這些雜質。