化學式SF6。無色、無味、無毒和不可燃的氣體;氣體密度6.602克/升,熔點-50.5℃,但在-63.8℃就能昇華;介電強度高。六氟化硫不溶於水,可溶於乙醇,分子呈正八面體形,硫原子居中。六氟化硫的化學性質非常不活潑,其惰性與氮氣相似,不與水、鹽酸、氫氧化鈉溶液作用;對熱穩定,甚至在加熱情況下也不與氫、氧或熔融的氫氧化鉀作用,隻在與硫化氫共熱時發生分解:

<

SF6+3H2S─→6HF+4S

高溫下,六氟化硫也會被金屬鈉分解。

  氟與燃燒的硫直接作用,可制得六氟化硫。六氟化硫在高電壓裝置中用作優良的絕緣氣體;摻在變壓器油中可增強其絕緣性。