雅滿幹涉儀的發展。在雅滿幹涉儀中，兩塊玻璃板的前表面起著分光板的作用，而後表面則為平面反射鏡，分光板和反射鏡不能單獨進行調節，而且兩束光的間隔為玻璃板厚度所限定。為克服這些局限性，L.馬赫和L.秦特使用瞭四塊玻璃板。
馬赫－秦特幹涉儀的結構如圖所示。P1、P2是兩塊分別具有半半反射面A1和A2的平行平面板，M1、M2是兩塊平面反射鏡，一般是使四個反射面接近平行，並使它們的中心在一平行四邊形的四個頂點上。
單色點光源S位於準直鏡L1的焦平面上，從S發出的光經L1準直後，在半反射面A1上分為兩束光， 一束光經M1和A2反射而達投射物鏡L2， 另一束光則經M2反射並透過A2後也達L2。由於兩束光是相幹的， 在L2的焦平面上會產生幹涉。將幹涉儀的一塊分光板稍作傾斜，在視場內會出現為數不多的幾條平行等距直條紋。
這種幹涉儀，由於其兩束光可分得很開，特別適用於空氣動力學中關於氣流折射率或密度分佈變化的研究。在作這種研究時，於T1處放一個風洞，而在T2處放一個參考室（裝有不流動的同樣氣體），後者用以補償前者的光程。觀察氣流變化前後的幹涉圖樣的差別，就可求得氣流折射率或密度空間分佈的變化。
實際上，由於氣流密度變化非常迅速，必須采用短時間曝光的辦法以獲得氣流密度分佈的瞬時圖像。這就要求幹涉圖樣本身要有足夠的亮度。所以以前多采用擴展光源。
目前常以激光器作這種幹涉儀的光源，由於激光的單色性好，亮度高，此時不僅能獲得清晰而又足夠亮的幹涉圖樣，而且使儀器的調節也變得方便。