遠小於月球角徑的射電源在視線方向上被月面掩食的過程（簡稱月掩源）。仿效光學天文中的月掩星觀測，進行月掩射電源觀測，是射電天文中獲得高解析度的重要方法之一。可以用這種方法來測定射電源的位置和結構細節，甚至在米波段也可以達到0.″1的高解析度。這種月掩源觀測技術，並不需要對現有的射電望遠鏡作很大改動和增加輔助設備。另外，在差別很大的頻率上同時進行高分辨觀測也比較容易做到。它的局限性是，隻能對對以黃道為中心約12°區域內的射電源才適用，而且要經過九至十八年左右才能對同一個源重復進行觀測。觀測方法是將天線的方向束一直對準源的中心；或者當方向束大於月球角徑時，也可將方向束對準月面的中心。後一方法可以用於巡天觀測，以定出射電源的位置。另外，對準月面邊沿的單個窄方向束也可用於巡天觀測。大多數月掩源觀測，都局限於在巡天中已發現的源或射電源表中已知的源，以求得到精確的位置和結構。月掩源的巡天工作是由英國焦德雷爾班克的76米直徑的射電望遠鏡開創的。美國阿雷西博天文臺的305米球面射電望遠鏡也進行瞭月掩射電源的觀測。以後，印度還專為月掩源巡天觀測在烏塔卡蒙德建造瞭大型米波望遠鏡。月掩源觀測的分辨率，主要決定於接收機和天線的噪聲以及月球邊沿的不規則性。印度烏塔卡蒙德的米波望遠鏡在327兆赫上，對射電流量密度大於0.1央的射電源，可以測出精確到1″的源位置和小於3″的結構細節（這具射電望遠鏡觀測月掩源的極限靈敏度達0.02央，相應的分辨率約為1′）。射電天文學傢已用此鏡觀測瞭數百個射電源，發現瞭大量弱源，並得到瞭許多源的結構。月掩源觀測技術也應用於X射線波段。像蟹狀星雲的X源結構和硬X輻射、軟X輻射的一些特點，都是通過月掩源觀測得到的。