用於微波波段的諧振電路。是一個封閉金屬腔體，電磁場被限制在腔體內，可由各種形式的傳輸線來實現。微波諧振腔的主要參數有諧振頻率、品質因素等。諧振頻率ω取決於腔體結構尺寸和工作模式。品質因素Q是描述微波諧振腔的重要參數，它直接決定瞭頻率選擇性、帶寬和阻尼因數等性能參數，可定義為：
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諧振腔的損耗僅取決於腔體內部損耗（金屬導體損耗和介質損耗）。在實際應用時，微波諧振腔與外電路相連，其有載品質因素
Q
L為：
式中
Q
e是無損耗諧振腔在負載情況下的外部品質因素。
圖1 腔體諧振結構
圖2 平面微帶諧振結構
微波諧振腔有腔體、平面微帶、鰭線和介質等多種諧振結構，實際應用時通過耦合結構把能量輸入腔內或輸出給負載。圖1是腔體諧振結構，圖2是平面微帶諧振結構。