具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產生光波幹涉條紋（見鐳射測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用於測量高光潔表面的平面度誤差，圖1a為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用於測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差（圖1b）。平晶用光學玻璃或石英玻璃製造。圓柱形平面平晶的直徑通常為45～150毫米米。其光學測量平面的平面度誤差為：1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。
平晶是利用光波幹涉現象測量平面度誤差的，故其測量方法稱為平晶幹涉法（圖2），也稱技術光波幹涉法。測量時，把平晶放在被測表面上，且與被測表面形成一個很小的楔角θ，以單色光源照射時會產生幹涉條紋。幹涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小，則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面P發生幹涉而出現明或暗的幹涉條紋。若在白光下，則出現彩色幹涉條紋。如幹涉條紋平直，相互平行，且分佈均勻，則表示被測表面的平面度很好；如幹涉條紋彎曲，則表示平面度不好。其誤差值為
，式中
a為兩幹涉條紋間距離，
b為幹涉條紋的彎曲值，
λ為光波波長，白光波長一般以0.6微米計算。