化學式XeO3。為氙的一種氧化物。XeO3為無色透明晶體，屬斜方晶系，分子構型為三角錐形。密度4.55克／釐米3；在40℃時分解。XeO3吸濕能力很強，易爆炸，在潮濕空氣中爆炸力很強。其水溶溶液呈酸性，並且是非常強的氧化劑。XeO3可由氟化氙水解得到：

6XeF4+12H2O─→2XeO3+4Xe+3O2+24HF

XeF6+3H2O─→XeO3+6HF