用調製參考波面使幹涉條紋對探測器掃描來實現波面位元相精密探測的儀器。以特外曼－格林型條紋掃描幹涉儀為例。如圖所示，該幹涉儀參考波面的調製是通過壓電晶體驅動參考反射鏡來達到的。調製的幹涉條紋被32×32二極體陣列所接收，用一臺小型電子電腦及一系列外部設備對測量過程進行控制、計算及顯示，完成對被測件（包括平面、球面及鏡頭）1024點的位相探測，測量精度可達λ/100。
條紋掃描幹涉儀的特點：①幹涉系統本身的誤差可用絕對校正法測出和存儲，並在後續的波面測試中自動除去，因此降低瞭幹涉系統各光學元件的加工要求。當要求測量精度為λ/100時，幹涉系統的波面誤差隻要1λ就夠瞭。②由於二極管陣列上光強以隨機形式多次取樣和平均，因此大氣抖動、振動及熱變形對測量精度的影響明顯下降。