採用光柵疊柵條紋原理測量位移的
感測器。光柵是在一塊長條形的光學玻璃上密集等間距平行的刻線，刻線密度為 10～100線／毫米。由光柵形成的疊柵條紋具有光學放大作用和誤差平均效應，因而能提高測量精度。感測器由尺規光柵、指示光柵、光路系統和測量系統四部分組成（見圖）。尺規尺光柵相對於指示光柵移動時，便形成大致按正弦規律分佈的明暗相間的疊柵條紋。這些條紋以光柵的相對運動速度移動，並直接照射到光電元件上，在它們的輸出端得到一串電脈沖，通過放大、整形、辨向和計數系統產生數字信號輸出，直接顯示被測的位移量。傳感器的光路形式有兩種：一種是透射式光柵，它的柵線刻在透明材料（如工業用白玻璃、光學玻璃等）上；另一種是反射式光柵，它的柵線刻在具有強反射的金屬（不銹鋼）或玻璃鍍金屬膜（鋁膜）上。這種傳感器的優點是量程大和精度高。光柵式傳感器應用在程控、數控機床和三坐標測量機構中，可測量靜、動態的直線位移和整圓角位移。在機械振動測量、變形測量等領域也有應用。