旋片真空泵

　　裝有滑片的偏置轉子在泵腔內作回轉運動，使由滑片分隔的泵腔工作室容積週期性變化以實現抽氣的真空泵，又稱滑片真空泵。圖為旋片真空泵的工作原理。它主要由泵體（靜子）和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的滑片，有些泵滑片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下，滑片沿槽作往復滑動並與泵腔內壁始終保持接觸，將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時，與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大，腔腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入（圖中a）。同時，與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高於大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣（圖中b）。轉子連續轉動，泵便不斷抽氣。

　　排氣閥浸在油裡，油通過排氣閥和油孔進入泵腔，使泵腔內所有運動件的表面覆蓋一層油膜，密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙，防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內的有害空間，以消除它們對極限壓力的影響。因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。隨著技術的發展、制造工藝的完善和優質材料的選用，小型滑片真空泵的轉軸可與電動機軸直聯，轉速可高達1450轉／分，大大提高瞭泵的抽氣速率和減輕瞭泵的重量。

　　滑片真空泵的抽速范圍為0.5～150升/秒(1升＝10^-3米³)，工作壓力范圍一般為1×10⁵～1帕，較大抽速的壓力范圍為1×10⁵～13帕。極限壓力：單級泵為1帕，雙級泵為6.5×10^-2帕。旋片真空泵一般隻適於抽除幹燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體（對於後者須裝氣鎮閥），不適於抽除含氧過高、爆炸性、腐蝕性、對泵油起化學作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統中，這種泵可單獨使用，或作為增壓泵、擴散泵等的前級泵。