磁柵式感測器

　　利用磁柵與磁頭的磁作用進行測量的位移感測器。它是一種新型的數位式感測器，成本較低且便於安裝和使用。當需要時，可將原來的磁信號（磁柵）抹去，重新錄製。還可以安裝在機床上後再錄製磁信號，這對於消除安裝誤差和機床本身的幾何誤差，以及提高測量精度都是十分有利的。並且可以採用鐳射定位錄磁，而不需要採用感光、腐蝕等工藝,因而精度較高,可達±0.01毫米／米，解析度為1～5微米。

　　磁柵式感測器由磁柵、磁頭和檢測電路組成。磁柵是在不導磁磁材料制成的柵基上鍍一層均勻的磁膜，並錄上間距相等、極性正負交錯的磁信號柵條制成的。圖中N│N和S│S分別為正負極性的柵條。磁頭有動態磁頭(速度響應式磁頭)和靜態磁頭（磁通響應式磁頭）兩種。動態磁頭有一個輸出繞組，隻有在磁頭和磁柵產生相對運動時才能有信號輸出。靜態磁頭有激磁和輸出兩個繞組，它與磁柵相對靜止時也能有信號輸出。靜態磁頭是用鐵鎳合金片疊成的有效截面不等的多間隙鐵心。激磁繞組的作用相當於一個磁開關。當對它加以交流電時，鐵心截面較小的那一段磁路每周兩次被激勵而產生磁飽和，使磁柵所產生的磁力線不能通過鐵心。隻有當激磁電流每周兩次過零時，鐵心不被飽和，磁柵的磁力線才能通過鐵心。此時輸出繞組才有感應電勢輸出。其頻率為激磁電流頻率的兩倍，輸出電壓的幅度與進入鐵心的磁通量成正比，即與磁頭相對於磁柵的位置有關。磁頭制成多間隙的是為瞭增大輸出,而且其輸出信號是多個間隙所取得信號的平均值，因此可以提高輸出精度。靜態磁頭總是成對使用,其間距為(m+1/4)λ，其中m為正整數,λ為磁柵柵條的間距。兩磁頭的激勵電流或相位相同,或相差л/4。輸出信號通過鑒相電路或鑒幅電路處理後可獲得正比於被測位移的數字輸出。