化學式SiCl4。無色易揮發液體;熔點-68℃,沸點57.6℃,密度1.48克/釐米3。四氯化矽在濕空氣中強烈發煙,有強吸濕性和水解性,能溶於苯、乙醚和四氯化碳。
四氯化矽遇水強烈水解,生成矽酸凝膠:
SiCl>4+4H2O─→H4SiO4+4HCl
四氯化矽與金屬氧化物在加熱下作用,生成金屬氯化物和 二氧化矽,例如:3SiCl4+2Al2O3─→4AlCl3+3SiO2
四氯化矽也能與非金屬氧化物作用,使氧被氯取代。例如,SiC l 4可使 P 2 O 5變為 POCl 3,也可使 SO 3變為 S 2O 5 Cl 2。四氯化矽與氨作用生成Si( NH 2) 4,將產物加熱時可得一系列矽的氮化物:SiCl4+8NH3─→Si(NH2)4+4NH4Cl
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四氯化矽在加熱下可被金屬鈉或氫氣還原成單質矽:
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四氯化矽與單質矽作用,生成Si2Cl6:
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在氯氣中加熱二氧化矽和碳,可得四氯化矽:
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四氯化矽是制備有機矽化合物的原料;也常用作易被提純的中間原料,用於生產純矽和單晶矽。