用電子束轟擊固體樣品表面，並根據微區內所發射出的 X射線的波長（或能量）的強度進行元素定性、定量分析的儀器，簡稱電子探針。由電子光學系統、試樣臺、光學顯微鏡、X射線譜儀、電子檢測系統和真空系統等組成。其工作原理是將試樣置於顯微鏡下，選定分析位置，以一束細聚焦強電流的電子束激發樣品，在直徑為1微米、體積為1立方微米區域內的不同元素受激發射出X射線，用波長色散X射線譜儀或能量色散X射線譜儀讀出元素的特徵X射線，根據特徵X射線的強度與濃度的比例關係，進行元素的定定量分析。其優點是：測定元素多（原子序數4以上的元素），精密度好，絕對檢出限達10-15克；還適用於幾微米厚的薄層分析和厚度為幾個單分子層的超薄膜分析。對微粒礦物和細小包裹體的鑒定，研究礦物內部的化學均勻性和元素的地球化學特性，具有重要作用。（見彩圖）
EPMA-8705型電子探針顯微分析儀