一種以等離子體光源作為激發源的多元素光譜分析儀（見圖）。
ICPQ（V）-1015型等離子體直讀發射光量計
等離子體光源有直流等離子光源，電感耦合等離子體光源，電容耦合等離子體光源。儀器由等離子發生器、霧化室、炬管、分光計、光電檢測系統組成。操作程式，背景校正，資料處理和列印結果都由電腦機控制。其工作原理是：由高頻發生器（一般為27.12兆赫）提供的高頻能量疊加到炬管外面的線圈上，線圈內通水冷卻，立於線圈當中的同軸型三層石英管，分別通入不同量的氬氣，稱為冷卻氣流，輔助氣流和進樣氣流。點火後炬管端就出現一個氬等離子體焰，最高溫度達10000K。試樣在高溫下被激發而輻射出光，經分光計按一定波長次序分散，取得一系列線光譜，通過焦平面上安裝的出射狹縫，由光電檢測系統接收，將光譜強度與標準相比較，轉換為元素的含量。其優點是：分析速度快，幹擾少，能同時測定幾十種元素，精密度好，測定下限低（一般為μg/m1或更低），線性范圍寬等特點。在
地質學中用於測定
巖石、
礦石、
礦物和
地下水中常量、微量、痕量的金屬元素。