微細尺寸（1微米以下）的超精密加工。一般尺寸加工時，精度用誤差尺寸和所要求的加工尺寸之比來表示，而微細加工必須用尺寸的絕對值表示。對微細加工來說，加工單位的現實限度可能是分子或原子。精密加工和超精密加工不僅包括大尺寸也包括微小尺寸加工，而微細和超微細加工則隻對微小尺寸加工而言。
微細加工常用的方法有電子束加工、離子束加工（見特種加工）和光刻蝕加工。光刻蝕是指使用電磁波頻頻譜中的光束或電子、離子以及X射線等光致蝕劑形成規定圖形的微細加工方法。在集成電路的制作中采用精密光刻技術，可獲得微米級甚至亞微米級的高精度微細線條圖形。
微細加工技術最大的應用領域是集成電路工業。除此之外，微細加工技術在生物工程上也有很大的應用價值，如人工肺、人工腎乃至人工細胞的制造都需要用微細加工技術。彩色顯像管的陰罩板、各種磁記憶元件和光盤等也都需要用微細加工技術。