化學式 Si(OC2H5)4。無色液體；熔點－77°C，沸點168.5°C，密度0.9346克/釐米3。它對空氣較穩定；微溶於水，在純水中水解緩慢，在酸或堿的存在下能加速水解作用；與沸水作用得到沒有電解質的矽酸溶膠。。正矽酸乙酯與較高級醇或其酯類在催化劑存在下反應，可得較高級醇的正矽酸酯，例如：
正矽酸乙酯與有機酸反應，可生成這些酸的乙酯；與金屬有機試劑反應，可使矽與碳原子連接（R為烷基）：
Si(OC2H5)4+4RCOOH→Si(OH)4+4RCOOC2H5
Si(OC2H5)4+2CH3MgBr→(CH3)2Si(OC2H5)2+2MgBrOC2H5
正矽酸乙酯可由四氯化矽與乙醇反應制得：
SiCl4+4C2H5OH→Si(OC2H5)4+4HCl
正矽酸乙酯可用於制造耐化學品塗料和耐熱塗料。