化學式PF5。無色氣體；熔點－83℃，沸點－75℃，密度5.805克／升；對熱穩定；容易水解，生成磷酸和氟化氫。以過量的氟與單質磷在常溫下反應或五氯化磷與氟化鈣反應，都可制得五氟化磷。五氟化磷可用作離子型化合物聚合反應的催化劑。