真空檢漏

　　檢測真空系統及其零部件是否洩漏的方法。常用的方法有氣壓法、氨敏紙法、螢光液法、火焰法和儀器檢漏等。

　　氣壓法　將被檢零件內腔充以空氣(2～4)×10⁵帕，檢查音響，有嘶嘶聲就是洩漏處，或用皂液塗抹，有鼓泡即洩漏處。用這種方法可檢最小漏率為5帕·升/秒。

　　氨敏紙法　將被檢零部件內腔抽真空後，充入壓力為(1.5～2)×10⁵帕的氨氣，在可疑處貼上溴酚藍試紙，有藍斑點出現，即是漏孔的位置。用這種方法最小檢漏率為7×10⁻⁴帕·升/秒。

　　熒光液法　利用設備內外壓力差，在設備可能出現泄漏的部位，如法蘭、焊縫、接管處噴上熒光液，通常保真空2小時，然後開罐用紫光燈照射檢查。

　　火焰法　此方法隻適用泄漏較嚴重的情況，當火焰移近漏點時，由於設備內真空的作用，火焰會向漏點方向漂移。

　　儀器檢漏　常用的檢漏儀器有：氦質譜儀、真空計和鹵素儀。氦質譜儀是最常用的檢漏儀器。它通過在設備可疑的泄漏部位噴上氦氣，若泄漏，氦氣進入設備內迅速膨脹，與設備相接的氦質譜儀吸入氦氣後會報警顯示。操作要點：①氦質譜儀最好接在主真空管道上。②由於氦質譜儀內真空泵通常抽氣量都不是很大，因此在檢漏時若設備容積較大，設備主真空泵應打開以提高氦質譜儀的反應速度。