由氣動長度感測器、指示器（表）、空氣篩檢程式和穩壓器等組成的長度測量工具。使用氣動量儀可以進行不接觸測量，測量效率很高。氣動量儀適用於在大批量生產中測量內、外尺寸，也可用於測量孔距和軸孔配合間隙。用氣動量儀測量時，需要按被測尺寸配以相應的測頭（圖1）。氣動內徑測頭結構簡單，很適宜用於孔徑測量。它可以測量直徑為1.5毫米的小孔。氣動量儀的示值範圍較小，一般為±20～±100微米。按示值範圍不同，常見的分度值有0.5微米、1微米和2微米等幾種。允許誤差一般不大於於一個分度值。氣動量儀主要分為壓力式和流量式兩類。
壓力式氣動量儀 有差壓水柱式、波紋管式（見長度傳感器）、薄膜式和膜盒式等。圖2為差壓水柱式氣動量儀的工作原理。測量前，分別用與被測孔徑公差的最大極限尺寸和最小極限尺寸相等或相近（已精確測得其實際尺寸）的兩個校對環規，按所采用的放大倍數，用倍率微調閥、零位調整閥調整水柱的上、下限位置。測量時，由於被測孔徑實際尺寸與校對環規尺寸之差引起的間隙S1和S2變化，使測量氣室中的壓力也發生變化。變化的大小由水柱高度表示，從刻度尺上讀出被測孔徑的偏差值。薄膜式和膜盒式等氣動量儀分別采用膜片和膜盒等彈性元件作為轉換元件。測量時由壓力變化引起彈性元件位移，經杠桿齒輪機構放大後由表針指示。如果在彈性元件的端面上加上電觸點，便能發出電信號而進行自動測量。
流量式氣動量儀 采用浮子和錐度玻璃管作為轉換元件，故又稱浮標式氣動量儀。圖3為浮標式氣動量儀的工作原理。它的調整和使用方法與差壓水柱式氣動量儀相似。由於間隙S1和S2變化引起的空氣流量變化，由浮子在錐度玻璃管中的上下位置表示。