根據恒星幹涉儀和射電幹涉儀的原理而設計成應用於紅外波段的儀器。由於幹涉儀的解析度取決於波長和望遠鏡(或射電天線)間的距離之比,而紅外波長比射電波長小幾個量級,所以在達到同樣解析度的要求下,紅外幹涉儀的基線距離比射電幹涉儀縮短幾個量級。在測量恒星的角徑和分辨分立源時,基線距離為1公裡的紅外幹涉儀(工作在10微米),能達到基線相距為1萬公裡的甚長基線幹涉儀(工作在10釐米)的效果。紅外幹涉儀除可提高解析度外,還可用來獲得極高解析度的譜線輪廓。但是,紅外幹涉儀的的研究剛開始不久,還沒有找到一個紅外頻率系統可以提供高度同步的兩個以上的獨立本振,以及足夠穩定的寬范圍的可調頻激光器。所以,目前紅外幹涉儀的基線距離還沒有超過20米的。