解釋佛教典籍中難讀難解的字音、字義專用書的通稱。唐代以前註釋佛經音義通常採用夾註的方法，即在經籍本文中，對梵文音譯詞語註釋語義，或對難讀字語註以反切。這種夾註音義的方法，自佛典漢譯以來，歷代沿襲。據《高僧傳·慧睿傳》載，慧睿曾著《十四音訓敘》，“條列梵漢，昭然可瞭，使文字有據”。《開元釋教錄》卷八也有北齊道慧著《一切經音》的記載。今兩書皆佚。
西藏於藏王赤德松贊在位時，曾請印藏譯師多人編定《大分解辭匯》一書，羅列佛教專用用名詞及常用語萬餘條，皆梵藏對照，為校訂舊譯及進行新譯之依據。又在丹珠爾中譯收印度聲明著作37種，其中有長壽帥子所著《長壽藏》及廣註，為解釋字源及辭義之作。
現存佛教音義專著主要有：①《一切經音義》。又稱《眾經音義》、《玄應音義》。唐玄應著。25卷。該書註釋大、小乘的經、律、論458部，為現存最早的佛教音義的著作。仿照《經典釋文》體例，分經註釋，每卷前先列經目，然後逐卷註釋。摘取詞語，先註反切，後釋義。此書除引用佛經外，還保存現已失傳的《蒼頡篇》、《三蒼》、《凡將篇》、《勸學篇》、《通俗文》、《埤蒼》、《古今字詁》、《古文官書》、《字林》、《古文奇字》、《字指》、《字苑》、《小學篇》、《韻集》、《纂文》、《字略》、《廣倉》、《字統》、《聲類》、《韻略》、《字書》、《字體》等100多種古籍的片斷。
②《新譯大方廣佛華嚴經音義》。又稱《新譯華嚴經音義》、《華嚴經音義》、《慧苑音義》。唐慧苑著。2 卷。該書對唐實叉難陀譯的《華嚴經》(八十卷本)加以音義註釋，以區別於東晉佛陀跋陀羅舊譯《華嚴經》（六十卷本），故稱新譯。本書體例亦仿《玄應音義》，將經文難字錄出，註音訓於其下，引證古字書甚多。
③《一切經音義》。又稱《慧琳音義》。唐慧琳著。100卷。成書於元和二年(807)。據本書序雲：註釋佛經“總一千三百部，五千七百餘卷”，而希麟書序稱“五千四十八卷”，實際上為1225部，5314卷。凡《開元釋教錄》入藏的經論全部加以註釋。慧琳在漢至唐代諸傢字韻的基礎上，刪補玄應、慧苑、雲公、窺基所撰音義，內容增多，註釋加詳，所引古音韻典籍更為廣泛。註音不僅區別吳音、秦音，而且辨明清音、濁音。
④《續一切經音義》。又稱《希麟音義》，為慧琳《一切經音義》的續作。遼希麟著。10卷。約成書於北宋雍熙四年 (987)。該書拾遺註釋圓照《大唐貞元續開元釋教錄》入藏全部經論，及不空、義凈、彥琮等譯經266卷（現存本缺8卷），體例仿《慧琳音義》。
此外，還有後晉可洪《新集藏經音義隨函錄》30卷；南宋處觀《紹興重雕大藏音》3卷等。
20世紀20～30年代，又有音義索引之書多種行世，如陳作霖《一切經音義通檢》2卷 (1923年金陵叢書外編)，日本山田孝雄《一切經音義索引》1冊（1925年西東書房初版），北京大學研究院文史部編《慧琳一切經音義引用書目索引》（1936年刊行）。此外，王少樵有《玄應書引〈說文〉校異》5卷、《慧琳書引〈說文〉校異》12卷等。
佛教音義之書，廣征博引，搜羅甚富。它不僅對佛傢經典字音字義的闡釋具有重要的價值，而且由於它保存瞭大量久已失傳的古代字韻和其他文史典籍，又為古籍的輯佚、校勘、訓詁提供瞭珍貴的資料。清代學者曾用它來整治古籍，取得瞭一定的成績，成為當時的顯學。