靠活塞往復運動使泵腔(氣缸)的工作容積週期性地變化來抽氣的真空泵,又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時,吸氣管接被抽真空容器,排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大,抽氣速率範圍為每小時45~20000立方米,單級泵極限壓力約為103帕,雙級泵可達1帕。往復真空泵可用於真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空乾燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器器,可抽除含水蒸汽的氣體;若安裝過濾器,則可抽除含塵氣體。