化學式 SiO。白色立方晶體;熔點>1702°C,沸點1880°C,密度2.13克/釐米3。一氧化矽不太穩定,在空氣中會氧化成二氧化矽;易溶於強鹼溶液,生成矽酸鹽並放出氫氣。當一氧化矽蒸氣緩慢冷凝時會歧化(見歧化反應)而成矽和二氧化矽。一氧化矽能溶於氫氟酸和硝酸的混合酸中並放出四氟化矽。一氧化矽可由二氧化矽在高溫下與單質矽作用後迅速冷卻制得:

>

固態一氧化矽可作絕緣材料。