已電離的粒子數佔據原有中性粒子數的百分比。引起電離的原因很多。例如，氣體粒子受電子或離子的撞擊或受電磁波（光、X 射線等）的輻照，固體表面受電子或離子轟擊，固體受到高熱等，都有可能產生電離現象。對於高溫氣體，氣體粒子互相碰撞所產生的電離稱為熱電離。描寫處於熱平衡態的電離氣體的公式是薩哈公式。以 na、ni、ne表示電離氣體中的原子、離子和電子的數密度（單位為厘米-3），在離子主要是電離一個電子的簡單情況下，ni=ne，則根據薩哈公式可得到電離度η為

式中

， T為電離氣體溫度，單位為電子伏， ε i為電離能。